X熒光光譜儀是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號(hào)。如果分光晶體和控測器作同步運(yùn)動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個(gè)波長X射線的強(qiáng)度，可以據(jù)此進(jìn)行定性和定量分析。

　　該儀器產(chǎn)生于50年代，由于可以對復(fù)雜體系進(jìn)行多組分同時(shí)測定，受到觀注，特別在地質(zhì)部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。如今，X熒光光譜技術(shù)已成功應(yīng)用于環(huán)境、食物鏈、動(dòng)植物、農(nóng)產(chǎn)品、人體組織細(xì)胞及器官、生物醫(yī)學(xué)材料、組織細(xì)胞、醫(yī)學(xué)試劑、動(dòng)植物器官、代謝產(chǎn)物中的無機(jī)元素測定。

　　X熒光光譜儀引起樣品誤差的原因有下面這些：

　　1、樣品物理狀態(tài)不同，樣品的顆粒度、密度、光潔度不一樣；樣品的沾污、吸潮，液體樣品的受熱膨脹，揮發(fā)、起泡、結(jié)晶及沉淀等。

　　2、樣品的組分分布不均勻 樣品組分的偏析、礦物效應(yīng)等。

　　3、樣品的組成不一致 引起吸收、增強(qiáng)效應(yīng)的差異造成的誤差

　　4、被測元素化學(xué)結(jié)合態(tài)的改變 樣品氧化，引起元素百分組成的改變；輕元素化學(xué)價(jià)態(tài)不同時(shí)，譜峰發(fā)生位移或峰形發(fā)生變化引起的誤差。

　　5、制樣操作 在制樣過程中的稱量造成的誤差，稀釋比不一致，樣品熔融不*，樣品粉碎混合不均勻，用于合成校準(zhǔn)或基準(zhǔn)試劑的純度不夠等。

　　X熒光光譜儀可以測量的樣品種類有固體塊狀樣品、粉末樣品和液體樣品等。

　　1、固體塊狀樣品，包括黑色金屬、有色金屬、電鍍板、硅片、塑料制品及橡膠制品等，其中金屬材料占了很大的比例。

　　2、粉末樣品，包括各種礦產(chǎn)品，水泥及其原材料，金屬冶煉的原材料和副產(chǎn)品如鐵礦石、煤、爐渣等；還有巖石土壤等。

　　3、液體樣品，油類產(chǎn)品、水質(zhì)樣品以及通過化學(xué)方法將固體轉(zhuǎn)換成的溶液等。